三坐标即三坐标测量机，它是指在三维可测的空间范围内，能够根据测头系统返回的点数据，通过三坐标的软件系统计算各类几何形状、尺寸等测量能力的仪器，又称为三次元、三坐标测量机、三坐标测量仪。

　　三坐标测量仪可定义为一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴的位移测量系统(如光学尺)经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器。

　　如何减少三坐标测量误差?三坐标直接用激光干涉仪等测量单项原始误差，能以较高的精度检测到这些误差值。不足之处，是激光干涉仪价格昂贵、对环境条件要求高、对操作者的技术水平的要求也较高。

　　三坐标测量仪误差检测方法可以分成两大类：一类是用激光干涉仪等仪器检测三坐标测量机的各个单项原始误差；另一类是用球列、球板等实物基准检测检测三坐标测量机的综合误差，然后分解出原始误差。

　　在分解各项原始误差时，一项重要基础是三坐标测量机本身有很好的重复性。球列、球板等实物基准需通过激光干涉仪进行检定，对球板本身的稳定性有较高要求。在由综合误差分解为单项误差时，难免有交叉影响，分解得到的原始误差的不确定度比用激光干涉仪等直接测量要大。再则，一般步距或球间距不易做得很小，不像激光干涉仪可对三坐标测量仪的各项误差进行连续检测。