三次元坐标测量机的静态误差来源主要有：三坐标测量机本身的误差，如导向机构的误差(直线、回转)、基准坐标系的变形、测头误差、标准量的误差;与测量条件相关联的各种因素引起的误差，如测量环境的影响(温度、尘埃等)、测量方法的影响以及一些不确定因素的影响等。

　　三次元坐标测量机的误差源纷繁复杂，很难将它们一一检测分离出来并加以修正，一般只修正那些对三坐标测量机精度影响比较大的误差源和那些比较容易分离的误差源。目前研究最多的是三坐标测量机的机构误差。生产实践中使用的三坐标测量机绝大多数是正交坐标系三坐标测量机，对于一般的三坐标测量机而言，机构误差主要是指直线运动部件误差，包括定位误差、直线度运动误差、角运动误差、以及垂直度误差。

　　对三次元坐标测量机精度评定或实施误差修正，要以坐标测量机固有误差的模型为基础，其中，必须给出各误差项的定义，分析，传递及误差合成后的总误差。所谓的总误差，在三坐标测量机的精度检定中，是指反映坐标测量机精度特性的综合误差，即指示精度，重复精度等：在三坐标测量机的误差修正技术中，则是指空间点的矢量误差。

　　一、机构误差分析

　　三次元坐标测量机的机构特征，导轨对被它引导的部件限制五个自由度，测量系统控制运动方向上的第六个自由度，因此导向部件在空间的位置，由导轨及其所属的测量系统确定。

　　二、测头误差分析

　　三次元坐标测量机的测头分为两种：接触式测头按其结构又分为开关式（又称触发式或动态发讯式）和扫描式（又称比例式或静态发讯式）两大类。开关式测头的误差由开关行程，测头各向异性，开关行程分散性，复位死区等引起。扫描式测头的误差由测力一位移关系，位移一位移关系，交叉耦合干扰等引起。

　　测头的开关行程为测头与工件接触至测头发讯，测头所偏摆的一段距离。这是测头的系统误差。测头的各向异性是开关行程在各个方向上的不一致性。它是系统误差，但通常作随机误差处理。开关行程的分解性指重复测量时开关行程的离散程度。实际测量时，以某一方向开关行程的标准偏差计算。

　　复位死区指测头测杆偏离平衡位置后，撤除外力，测杆在弹簧力的作用下复位，但由于摩擦力的作用，测杆不能回到原始位置，它与原始位置的偏差就是复位死区。