三次元坐标测量机机械系统：一般由三个正交的直线运动轴构成。X向导轨系统装在工作台上，移动桥架横梁是Y向导轨系统，Z向导轨系统装在*滑架内。三个方向轴上均装有光栅尺用以度量各轴位移值。人工驱动的手轮及机动、数控驱动的电机一般都在各轴附近。用来触测被检测零件表面的测头装在Z轴端部。