九新 广精圆度仪,采用先进的全铝技术,的刚性/质量比,保证机器的高性能和高精度;各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位;
九新 广精圆度仪主要特征:
1、采用先进的全铝技术,的刚性/质量比,保证机器的高性能和高精度;
2、X向采用超高精密三角梁技术,相比矩形横梁,重心更低,质量刚性比佳,运动更加可靠,该先进技术受得保护;
3、Y轴采用整体燕尾式导轨,提高了测量机的精度和重复性;
九新 广精圆度仪Z向采取获得的气动平衡技术,采用柔性悬挂系统,避免了轴向运动和传动系统之间的干涉问题,提高了测量机的精度和长期稳定性;
三轴均采用高精度德国HEIDENHAIN光栅尺,系统分辨率可到达0.078um,同时采用一端固定,一端自由伸缩的方式安装,减少了光栅尺的变形,保证在温度变化是的线性伸缩;各运动轴均采用直流伺服驱动+增强型同步带,确保运动的平稳和准确定位;
采用Croma专业打造的IDC-Ⅰ控制系统,21项误差空间修空间修正技术和自动调偕功能,保证了机器的动态性能和测量精度;M),功能强大,易学高效。
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